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深圳铭凯盛电子设备有限公司 
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| 等离子主机 等离子表面活化 晶圆等离子清洗 PLASMI清洗 |
1、等离子清洗的原理：对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，达到对材料表面清洗、蚀刻、活化等效果。
（1）对材料表面的刻蚀作用--物理作用：
等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除 了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了 样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
（2）激活键能--交联作用：
等离子体中的粒子能量在 0~20eV，而聚合物中大部分的键能在 0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。
（3）形成新的官能团--化学作用：
如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。
2、等离子设备原理：等离子清洗机的结构主要分为四大部分组成：控制系统、激励电源系统、xyz三轴动力系统、工艺气体系统。 |
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